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稳定同位素系列材料

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硼11酸三乙酯

更新时间:2020-07-04 点击数:1999

硼11酸三乙酯又称硼酸乙酯、三乙氧基硼,化学式为C6H15BO3,分子量为145.99,熔点为-84.5℃,沸点为117.5℃。硼11酸三乙酯为无色透明液体,有轻度气味,有显著的热稳定性,能与乙醇、乙醚混溶,遇水分解。硼11酸三乙酯可作为掺杂源掺入到硅片表面薄层中,并使其达到规定的数量和符合要求的分布形式,以改变半导体的电化学性质,可以制造PN结、电阻、互联线等。

产品指标

产品用途:

硼11酸三乙酯可用于半导体元器件的制造中,以改变半导体的电化学性质,也可用作其他有机硼化物的合成、增塑剂及焊接助熔剂。     

包装、贮存:

电子级硼酸三乙酯贮存在标准无缝钢瓶中,包装规格为19L,具体包装规格可根据用户需求定制更改。产品储存于干燥、通风良好的库房中,禁止堆放,远离火种、热源,防止雨淋、阳光直射,应与氧化剂、食用化学品分开存放。



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